浜松光電

Pressure Sensors圧力センサ

用語解説

1.圧力センサ

技術資料:圧力センサの動作原理の⾴で解説しています。


2.等価回路

圧力センサの等価回路を表します。


3.ブリッジ抵抗

等価回路図上の①-⑥間を短絡させた際のVcc-GND間(②-⑤間)の抵抗値Rinを表します。


4.出力電圧 V

+OUTからの出力と-OUTからの出力の差を表します。
一定条件下の圧力における+OUTからの中点電位を-OUTからの中点電位の中点電位差を表します。
当社では印加電圧は5Vを基準にしています。出力電圧は印加電圧に比例します。


5.オフセット電圧 Vo

圧力無印加時(0kPa)の出力電圧を表します。


6.出力スパン電圧 FS

定格圧力印加時の出力電圧とオフセット電圧の差を表します。

FS=Vr-Vo (mV)
r:定格圧力 (kPa)
Vr:定格圧力印加時の出力電圧(mV)


7.直線性 Pl

圧力無印加の状態から定格圧力まで印加した時に、1/2定格圧力の点における出力電圧のずれ量を出力スパン電圧の比として示した値を表します。

Pl={(Vr/2-Vo)-(FS/2)}/FS×100 (%FS)
r/2:1/2定格圧力 (kPa)
Vr/2:1/2定格圧力印加時の出力電圧(mV)


8.圧力ヒステリシス Ph

圧力無印加の状態から定格圧力まで印加する。その後、圧力無印加状態に戻した時のずれ量を出力スパン電圧の比として示した値を表します。

Vo1:定格圧力印加後のオフセット電圧(mV)
Ph=(Vo1-Vo)/FS×100 (%FS)


9.オフセット電圧温度特性 ⊿Vo

下限温度と基準温度,基準温度と上限温度のオフセット電圧差の内、絶対値が大きい値を基準温度における出力スパン電圧の比として示した値を表します。

t1:下限温度(℃)
t2:上限温度(℃)
Vo(t1):下限温度時のオフセット電圧(mV)
Vo(t2):上限温度時のオフセット電圧(mV)
Vo(25):基準温度時のオフセット電圧(mV)
FS(25):基準温度時の出力スパン電圧(mV)
⊿Vo =MAX( |Vo(t1)-Vo(25)| , |Vo(t2)-Vo(25)| )/FS(25)×100 (%FS)


10.感度温度特性 ⊿FS

下限温度,基準温度,上限温度における出力スパン電圧の内、最大値と最小値の差を基準温度における出力スパン電圧の比として示した値を表します。

FS(t1):下限温度時の出力スパン電圧(mV)
FS(t2):上限温度時の出力スパン電圧(mV)
⊿FS =[MAX( FS(t1) , FS(25) , FS(t2) )-MIN( FS(t1) , FS(25) , FS(t2) )]/FS(25)×100 (%FS)


11.圧力単位

1m2あたりに1N(=1kg・m/s2)の力がかかっている状態が1Paとなります。
1Pa=1N/m2
大気圧との関係は1atm=101325Paとなります。
その他の単位として1kgf/cm2≒98.1kPaも使用されます。

参考資料

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